실리콘 구조용 웨이퍼

실리콘 구조용 웨이퍼

이 구조적 실리콘 웨이퍼 시리즈는 복잡한 장치 아키텍처를 위한 탁월한 기계적 기반을 제공하도록 설계되었습니다. 다음과 같은 전체 산업 스펙트럼에 걸쳐 최적화되었습니다.2인치(50mm) ~ 12인치(300mm), 이러한 기판은 가장 까다로운 제조 환경에서 물리적 왜곡을 완화하고 절대적인 기하학적 일관성을 유지하도록 설계된 충실도가 높은 호스트로 작동합니다.

우수한 변형 저항:웨이퍼는 고속 로봇 핸들링 및 정밀 진공 척킹 중에 탄성 및 소성 변형을 방지하도록 설계되었습니다.{0}} 이러한 구조적 견고성은 중요한 치수를 그대로 유지하여 리소그래피 오정렬 또는 결합 실패로 이어질 수 있는 미세{2}}뒤틀림을 방지합니다.

열기계적 안정성:처벌을 견딜 수 있도록 설계열 예산, 고온 산화와 급속 열 어닐링(RTA)의 반복적인 주기를 통해 재료의 모양과 평탄도가 유지됩니다. 격자 슬립과 열{2}}유발 응력을 최소화함으로써 기판은 안정적인 생산을 지원합니다.전력 IC(IGBT/MOSFET) 및 MEMS장치.

일관된 기하학적 충실도:우리의 체계적인 통제총 두께 변화(TTV)보우/워프 매개변수는 각 배치가 예측 가능한 구조적 동작을 제공하도록 보장합니다. 이러한 일관성으로 인해 화학적-기계적 평탄화(CMP) 및 건식 에칭 중에 더 넓은 프로세스 창이 가능해지며, 이는 보다 견고한 성능과 직접적으로 연관됩니다.웨이퍼-레벨 수율(WLY)산업용-등급 전자제품용입니다.

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